考研中一般在复试期间大家会联系硕士研究生导师，因为提前联系运气好的话，导师看到你的简历后可能对你非常感兴趣，在不违背原则的前提下没准会对你的复试指点一二。那在和导师邮件沟通的过程中如果你对导师的学术著作颇有研究或者在考研前就已经瞄准某位导师，那就很有必要对于硕士研究生导师的信息提前熟悉了解，方便以后的沟通。下面天任考研频道为大家分享：“中国科学院大学硕士研究生导师信息：陈进新”文章。

　　陈进新 男 硕导 中国科学院微电子研究所

　　电子邮件： chenjinxin@ime.ac.cn

　　通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号微电子所B507

　　邮政编码：

　　招生信息

　　招生专业

　　080300-光学工程

　　080201-机械制造及其自动化

　　招生方向

　　先进光刻

　　精密系统机械设计、极紫外光刻真空

　　集成电路光刻技术

　　教育背景

　　2010-09--2015-07 中国科学院大学 博士

　　2005-09--2008-07 中国科学院研究生院 硕士

　　2000-09--2004-07 北京航空航天大学 本科

　　工作经历

　　工作简历

　　2018-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 高级工程师

　　2017-06~2018-07,美国SLAC国家加速器实验室, 访问学者

　　2015-12~2018-10,中国科学院光电研究院, 高级工程师

　　2010-10~2015-11,中国科学院光电研究院, 工程师

　　2010-09~2015-07,中国科学院大学, 博士

　　2008-07~2010-09,中国科学院光电研究院, 助理工程师

　　2005-09~2008-07,中国科学院研究生院, 硕士

　　2000-09~2004-07,北京航空航天大学, 本科

　　专利与奖励

　　专利成果

　　( 1 ) 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201510076613

　　( 2 ) 一种动态气体锁的试验装置和试验方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201610390695

　　( 3 ) 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201610391179

　　( 4 ) 一种极紫外反射镜片的装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201510075790

　　( 5 ) 一种极紫外反射镜片的四维装调装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410545200

　　( 6 ) 一种气体放电激光光源, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210333164

　　( 7 ) 一种新型气体放电腔, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201210337140

　　( 8 ) 一种极紫外辐照材料测试系统, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310319441

　　( 9 ) 一种动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310320652

　　( 10 ) 一种螺旋气流动态气体锁, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201310343253

　　( 11 ) 一种气体激光器放电腔的电极机构, 2013, 第 1 作者, 专利号: 201210266544

　　出版信息

　　发表论文

　　(1) 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum, MME, 2017, 第 1 作者

　　(2) 极紫外光刻动态气体锁抑制率实验研究, 光学学报, 2017, 第 1 作者

　　(3) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究, 激光与光电子学进展, 2017, 第 1 作者

　　(4) 极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究, 激光与光电子学进展, 2016, 第 1 作者

　　(5) 极紫外真空动态气体锁流场分析与研究, 真空科学与技术学报, 2015, 第 1 作者

　　科研活动

　　科研项目

　　( 1 ) EUV光刻机离轴对焦技术研究与部件开发, 主持, 国家级, 2018-01--2021-12

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